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光刻机需要多少空间才能开发芯片的核心技术?XCAR Love Card汽车俱乐部

来源:365bet体育在线注册 作者:365bet体育投 时间:11-06 09:42:47 点击:
当ASMLEVU光刻机问世时,它的售价为1亿美元。资料来源:红色
祖先磨削技术
光刻机就像照相机,其负片是涂有光敏粘合剂的硅片。
通过光刻机将电路图案微缩成膜在薄膜上,蚀刻掉一部分粘合剂,并露出硅表面以进行化学处理。
要制造芯片,请重复此过程数十次。
光刻设备中央的透镜由抽头底部的20多个大透镜组成。
镜头由高质量的透光材料+高质量的抛光制成。
SMEE光刻机中使用的透镜是数万美元。
ASML镜片是采用蔡司技术的底漆。
镜片材料是统一的,需要数十年的技术积累。
“相同的镜头,不同的工人要磨,完成的时间是不同的10倍。
SMEE总经理何荣明说,他在德国看到的职位像打磨工人,三代祖父母和同一家公司。
另外,尽管光刻机尺寸小,但仍需要具有高输出的稳定光源。
ASML顶部光刻机使用短波紫外线,并且光学系统非常复杂。
30,000个机器零件必须可靠
如果使用最好的镜头和光源,则机械精度不佳,效果也不佳。
光刻机具有两阶段同步可移动工件:负片阶段和胶片阶段。
两者必须始终保持小于2纳米的误差同步。
这两个工作站是静态的,是动态的,加速度类似于导弹的发射。
正如荣明所说:“这就像两架大型飞机,从起飞到着陆,始终牵着手。
一把刀从飞机上伸出,在另一架飞机上刻成米粒。不燃烧。

此外,温度,湿度和压力的变化也会影响对焦。
“机器的内部温度需要控制在每1000度5度。正确的冷却方法和精确的温度传感器是必需的。
罗明说。
最好的SMEE光刻机包含13个子系统,30,000个机器零件和200多个传感器,每个传感器都很稳定。
输掉比赛的任何人都会输掉欧洲冠军杯的决赛。
绘图并不重要
SMEE于2002年由中国政府发起成立,填补了光刻机的空白。
当罗明去德国检查时,工程师告诉他:“我给你一套完整的图纸,你做不到。”
几年后,他明白了这句话。
这并不意味着附图并不重要。荣明说设计分数很高,如何分配系统错误给子系统。
但是,上光刻机也需要详细的技术清洗。
“光纤,软件代码行,小动作。如果您不努力工作,整个系统都不会变得更好。
罗明说。
“光刻机的发展需要高素质的人才。
因此,我们所做的事以及最常做的事就是赋权并改变人们。
荣明说,这迫使他们从50年和100年的长远角度做事,而没有等待几个月的时间来解决问题。
如今,SMEE每年增加数百项专利,拥有非常好的寿命,并支持中低端市场的高端研发。
国际巨头仍在前进,开发浸没式光刻机(水中的短波长光),磁悬浮装置(减少工作表面的振动),反射镜和系统技术,而不是透镜。更多用于真空室的紫外线光学器件...



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